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产品名称:

奥林巴斯MX63/MX63L半导体检测显微镜

产品类别:
奥林巴斯MX63/MX63L半导体检测显微镜
模块化:全面可定制

新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内,镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。

人性化:满足人体工学的设计

新MX63/MX63L显微镜采用人体工学设计,可以快速设置调整和简易控制。更
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奥林巴斯MX63/MX63L半导体检测显微镜

 

现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示(FPD)、印制电路板(PCB)等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L工业检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。

奥林巴斯MX63/MX63L半导体检测显微镜具备有如下的特点:

模块化:全面可定制

新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内,镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。

人性化:满足人体工学的设计

新MX63/MX63L显微镜采用人体工学设计,可以快速设置调整和简易控制。更换物镜以及调整孔径光阑的控制位于显微镜前面较低的位置,因此用户在使用过程中可始终保持透过目镜观察而无须松开对焦旋钮。电动物镜转盘旋转迅速,在缩短检测间隔时间的同时还可让操作者的手始终在晶圆下方,降低可能存在的污染风险。 

凭借这些强大的观察功能和简单的操作特性,MX63/MX63L显微镜能够实现快速高效的实现大尺寸样品检测。

从不可见到可见:MIX观察与采集

新MX63/MX63L显微镜是该系列首个支持奥林巴斯MIX照明功能的产品,由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中,MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

 

长寿命高强度白色LED照明:始终一致的色温

新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源,兼顾低功耗和长寿命的优点,而且其稳定的色温为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。

 

功能性:适合所有晶园尺寸

特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于zui大晶圆直径200mm,MX63L可用于zui大晶圆直径300mm。此外,新显微镜还可以选配晶园搬送机,实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。

 

 

利用HDR采集明亮区域和暗光区域

利用先进的图像处理技术,高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,以减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质,从而有助于生
成具有专业级的报告。

快速寻找焦点:聚焦辅助

在光程内插入聚焦辅助可以轻松无误地实现诸如裸晶片之类低对比度样品的对焦。在焦平面上的网格对焦让您的样品对焦更加简单。

 

利用光强管理器和自动孔径控制实现快速观察

对于常规显微镜,使用者每次观察都需要调整光强度和孔径。MX63系列让使用者能够针对不同的倍率和观察方法设定光强和孔径条件。这些能够轻松调用的设置即可帮助使用者节省时间又可获得优良的图像质量。

人体工学设计实现更快、更舒适的操作

更换物镜以及调整孔径光阑的控制器位于显微镜前面较低的位置,因此使用者在使用过程中无须松开对焦旋钮或将头从目镜上移开。

从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮,图像分析任务即可快速精准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间,使操作人员的精力集中在检测工作上。

高效的报告创建
创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能,能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单,报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数码变焦和倍率放大。报告文件大小适中,通过电子邮件进行数据传递更加方便。

独立相机选项
测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮,图像分析任务即可快速精准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间,使操作人员的精力集中在检测工作上。使用DP22或DP27显微镜相机的MX63系列是一套先进的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒控制,在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。

直观的显微镜控制:舒适且使用方便

显微镜设置操作简单,让用户调整和再调用系统配置更加轻松。

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